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菲希爾X射線測厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XULM240核心特點(diǎn)
高精度測量：
配備比例接收器，能實(shí)現(xiàn)高計(jì)數(shù)率，進(jìn)而進(jìn)行高精度測量。
測量厚度精度高，當(dāng)Au厚度大于0.1μm時(shí)，有標(biāo)準(zhǔn)片校準(zhǔn)情況下精度<±5%，無標(biāo)準(zhǔn)片校準(zhǔn)情況下精度<±10%。
最小測量點(diǎn)大小約0.09x0.09mm，適合測量微小區(qū)域。
多功能測量：
支持單性金屬鍍層厚度、合金鍍層厚度、雙鍍層厚度、雙鍍層（其中一層是合金）厚度、三鍍層厚度等多種測量模式。
可同時(shí)測定最多5種不同元素，分析多達(dá)四種金屬成分的合金。
微聚焦X射線管：
配備微聚焦X射線管以及可電動(dòng)切換的視準(zhǔn)器和基本濾片，更適合對微小型工件進(jìn)行測量。
焦點(diǎn)尺寸≤50μm，能精準(zhǔn)測量半導(dǎo)體芯片金線鍍層、精密傳感器電極等微型結(jié)構(gòu)。
智能化軟件：
搭載WinFTM®軟件，能預(yù)設(shè)測量程序（最多100組），進(jìn)行數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析并生成報(bào)告，滿足ISO 9001等質(zhì)量管理體系要求。
支持薄膜FP法和塊體FP法軟件，可分析含鉛合金、多層鍍層（如Ni/Cu/Au）等復(fù)雜結(jié)構(gòu)。
便捷操作與觀察：
內(nèi)置500萬像素彩色視頻顯微鏡，支持38x-184x光學(xué)變焦，可實(shí)時(shí)觀察樣品表面細(xì)節(jié)并標(biāo)記測量區(qū)域，定位精度達(dá)±0.005mm。
射線方向從下至上，樣品放置快速簡便；底部C型開槽的大容量測量艙，方便容納更多樣品。
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